《數(shù)字化轉(zhuǎn)型和跨學(xué)科實(shí)踐暑期研討會(huì)》詳解
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檢漏儀啟動(dòng)流程:1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時(shí)間開冷規(guī),可等一會(huì)兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。檢漏儀可采用干式泵達(dá)到無油蒸氣的效果。江蘇推車式檢漏儀一臺(tái)多少錢
檢漏儀的檢漏原理:利用氦氣是比氫氣小的第二輕的惰性氣體,氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散,在被檢測的管道中注入氦氣。如果這些設(shè)備有漏點(diǎn),那么我們就能通過監(jiān)測儀器探測到有氦氣在管道外部。這就是管道中氦氣檢漏的方法。對于一些高精尖的細(xì)小電子元件,氦氣怎么檢漏呢?將要檢測的元件放入充滿氦氣的容器中并且加壓。在壓力的作用下,如果這些元件存在漏點(diǎn),必然會(huì)有氦氣通過 這些小孔進(jìn)入到元件內(nèi)部。使用壓縮空氣將元件表面的少量殘留氦氣吹掃干凈之后,再利用質(zhì)譜儀檢測元件表面泄露的氦氣。江蘇真空檢漏儀價(jià)錢氦質(zhì)譜檢漏儀適用于各種檢漏方法。
檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲,目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn),使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,因此檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,主要形成的原因包括:一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,而電離規(guī),特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng),其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動(dòng)引起的效應(yīng)。
正確使用氦氣檢漏儀:如果氣密檢漏儀在運(yùn)行過程中沒有在高壓下進(jìn)行泄漏測試,那么氦氣檢漏設(shè)備就不能檢測到一些泄漏孔。因此,在檢漏過程中使用較高的測試壓力可以有效地檢測實(shí)際操作中沒有出現(xiàn)的泄漏孔。檢漏試驗(yàn)中的可檢測泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關(guān)系,背景濃度越高,波動(dòng)越大。如果泄漏測試后泄漏檢測氣體排放到泄漏檢測區(qū)域,背景濃度將在整個(gè)工作日持續(xù)增加。此外,在加注或排放過程中,確保沒有氣體溢出,并定期檢查連接件是否有泄漏。如果檢漏氣體泄漏氦和氫,它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂,并逐漸漂浮在整個(gè)檢漏區(qū)。因此,應(yīng)該為泄漏測試區(qū)域提供足夠的通風(fēng)。由于兩種泄漏檢測氣體都傾向于向上移動(dòng),因此建議從底部輸入新鮮空氣,從頂部向外排放氣體。質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟。
檢漏儀檢漏方法分為兩大類:被檢件承受負(fù)(外)壓,即抽成真空的叫真空檢漏;被檢件承受正(內(nèi))壓的叫正壓檢漏,也有人叫充壓檢漏。正壓檢漏一般有三種方法:1)吸口法:用吸口直接在漏孔出口處獲得示漏氣體,與正壓校準(zhǔn)漏孔作比對定量。這種方法適于漏孔處于吸口可及位置的產(chǎn)品作正壓檢漏。2)氣罩積分法:把被檢件或被檢部位置于氣罩內(nèi),罩內(nèi)為大氣壓。示漏氣體漏人罩內(nèi),隨時(shí)間積分,再用吸口取樣,輸入檢漏儀檢測,與正壓校準(zhǔn)漏孔比對定量。3)加壓真空法:產(chǎn)品充正壓后,置于真空室內(nèi),或?qū)⒙饩植恐糜谡婵照謨?nèi),檢漏儀與真空室(罩)相聯(lián),與真空校準(zhǔn)漏孔作比對定量。小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)槠髽I(yè)工件設(shè)備提供小巧方便的檢測。江蘇氣密檢漏機(jī)
氦質(zhì)譜檢漏儀如何選擇檢漏方式,與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系。江蘇推車式檢漏儀一臺(tái)多少錢
氦氣檢漏儀能為不同的需求提供不同的測量方法,檢漏儀系統(tǒng)的檢漏儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。檢漏儀特點(diǎn):1.檢測時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);2.檢測的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;4.檢測的數(shù)據(jù)精確;5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,可追溯數(shù)據(jù)來源。江蘇推車式檢漏儀一臺(tái)多少錢
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