池州臺(tái)式檢漏設(shè)備

檢漏儀的整體結(jié)構(gòu):一、質(zhì)譜室,形象的說(shuō)，質(zhì)譜室是檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。二、真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時(shí)需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時(shí)保證氦離子在分析器中的運(yùn)動(dòng)有較高的傳輸率，因此建立一個(gè)高真空系統(tǒng)是必要的。系統(tǒng)中的節(jié)能閥則是為了滿足質(zhì)譜室工作壓力的調(diào)節(jié)，該閥全開(kāi)時(shí)檢漏靈敏度較高，因此在條件允許情況下開(kāi)啟大些為宜。檢漏時(shí)為了校準(zhǔn)檢漏靈敏度，系統(tǒng)中設(shè)置了標(biāo)準(zhǔn)漏孔。檢漏儀待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。池州臺(tái)式檢漏設(shè)備

檢漏儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥檢漏，閥門氣密性測(cè)試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測(cè)處如閥桿等，用檢漏儀正壓法（吸口法）檢測(cè)，吸口法檢測(cè)的精度可充分滿足氣密性檢測(cè)要求。檢漏儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏, 檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4 至 10-6Pa.m3/s. 同時(shí)需要提供快速, 清潔的檢漏環(huán)境. 采用檢漏儀吸口模式, 即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣, 然后進(jìn)行檢漏。檢漏儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。閥門多采用檢漏儀的負(fù)壓模式既真空模式檢漏，其較小可檢查漏率為5X10-12mbar l/s。銅陵真空檢漏設(shè)備使用中盡量將預(yù)置真空開(kāi)關(guān)空擋可以有效延長(zhǎng)檢漏儀的燈絲壽命。

檢漏儀漏率校準(zhǔn)方法：漏率校準(zhǔn)，①校準(zhǔn)系統(tǒng)的組成校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氫質(zhì)譜檢漏儀組成。②示值誤差通電預(yù)熱,待復(fù)檢漏儀啟動(dòng)完成后,采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)復(fù)質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn),將一經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔接入檢漏儀系統(tǒng)，運(yùn)行檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的檢漏儀示值，同一標(biāo)準(zhǔn)漏孔測(cè)量三次，計(jì)算檢漏儀示值平均值，從而得到標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率與檢漏儀示值平均值的示值誤差。結(jié)束后，將其他量級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)漏孔依次按此方法接入檢漏儀系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，得到檢漏儀在每一量級(jí)下漏率的示值誤差。如果測(cè)試結(jié)果有較大偏差，可以考慮檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行測(cè)試。

檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)：檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。離子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率，真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染，因此被普遍采用，已成為市場(chǎng)的主流產(chǎn)品。檢漏儀正壓檢漏方法普遍應(yīng)用于正壓檢漏和相對(duì)真空泵檢漏兩種方法。

檢漏儀待機(jī)時(shí)電離室真空度保持在≤3x10-2Pa，燈絲不易被氧化脆斷。在檢漏過(guò)程中，當(dāng)出現(xiàn)意外情況，系統(tǒng)突然暴露大氣或真空度突然降低，導(dǎo)致大量的氣體突然進(jìn)入電離室，真空度≥1x10-1Pa時(shí)，燈絲電流急劇增大，燈絲被碳化，就發(fā)生了脆斷現(xiàn)象。檢漏儀燈絲壽命如何延長(zhǎng)？由前面分析已知，造成檢漏儀燈絲脆斷的原因：1.真空度低；2.燈絲電流過(guò)大；3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟，或者說(shuō)盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)檢漏儀的燈絲壽命。如：1.使用中盡量將預(yù)置真空開(kāi)關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。南京多功能檢漏儀價(jià)錢

檢漏儀系統(tǒng)對(duì)密封容器的使用性能有什么幫助？池州臺(tái)式檢漏設(shè)備

檢漏儀內(nèi)部泄漏怎么處理？ 不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法。①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購(gòu)買新品進(jìn)行更換。②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對(duì)密封圈進(jìn)行更換，并先用無(wú)水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會(huì)影響儀器本底)等密封添加劑。③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項(xiàng)同上。④真空計(jì)的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測(cè)時(shí)極易被忽視，此處若有漏可先進(jìn)行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購(gòu)買新品進(jìn)行更換。池州臺(tái)式檢漏設(shè)備

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