刻蝕技術(shù)是SiC器件研制的關(guān)鍵,刻蝕精度、損傷和表面殘留物對器件性能至關(guān)重要。目前,SiC刻蝕多采用干法刻蝕,其中電感耦合等離子體(ICP)刻蝕因其低壓高密度的特點,具有刻蝕速率高、器件損傷小、操作簡單等優(yōu)點,而廣泛應(yīng)用。此外,刻蝕中的掩膜材料、蝕刻選擇、混合氣體、側(cè)壁控zhi、蝕刻速率和側(cè)壁粗糙度等需針對SiC材料特性開發(fā)。刻蝕環(huán)節(jié)主要挑戰(zhàn)包括實現(xiàn)更小尺寸器件結(jié)構(gòu)、提高深寬比和形貌圓滑度,以及從淺溝槽向深溝槽的轉(zhuǎn)變等。主流的SiCICP刻蝕設(shè)備廠商包括德國Plasma-Therm及Sentech、瑞士TEL、美國AMAT、英國牛津儀器、日本Samco及愛發(fā)科,及我國北方華創(chuàng)、中國電科48所、中微半導(dǎo)體、中科院微電子所、珠海恒格微電子、稷以科技等。北方華創(chuàng)在SiC器件領(lǐng)域具備完整的刻蝕解決方案,其SiC器件刻蝕機出貨量的市占率較高。“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕!展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。誠邀您蒞臨參觀!匯中外優(yōu)秀企業(yè),展前沿技術(shù)產(chǎn)品,“中國?國際先進陶瓷展覽會:2025年3月10-12日將于上海世博展覽館開幕。上海市國際先進陶瓷技術(shù)展覽會
碳化硅下游應(yīng)用場景眾多,包括新能源車、充電樁、光伏、儲能、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等,而下游的需求放量情況會影響碳化硅的市場規(guī)模體量,比如新能源車的產(chǎn)銷量、充電樁的配套數(shù)量、光伏的裝機量等。雖然碳化硅襯底和器件工藝逐漸成熟,價格有所下降,但碳化硅功率器件價格仍遠高于硅基器件。下游應(yīng)用領(lǐng)域需平衡碳化硅器件高價格與性能優(yōu)勢帶來的綜合成本,短期內(nèi)將限制碳化硅器件在功率器件領(lǐng)域的滲透率,大規(guī)模應(yīng)用仍存挑戰(zhàn)。若下游存在放量不及預(yù)期的情況,將對上游碳化硅企業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)造成不利影響?!暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕!展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等一應(yīng)俱全的產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠邀您蒞臨參觀!2025年3月10-12日華東區(qū)國際先進陶瓷行業(yè)技術(shù)峰會誠邀您參加中國?國際先進陶瓷展覽會,展示前沿技術(shù)、前沿產(chǎn)品,2025年3月10-12日上海世博展覽館見!
按化學(xué)成分可分為:氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物陶瓷、硼化物陶瓷、硅化物陶瓷、復(fù)合瓷、金屬陶瓷和纖維增強陶瓷等3.1.1氧化物陶瓷(A2O3、ZrO2、MgO等)3.1.2氮化物陶瓷(Si3N4TN、BN等)3.1.3碳化物陶瓷(SiC、BC、WC等)3.1.4硼化物陶瓷(TB2、ZrB2等)3.1.5硅化物陶瓷、復(fù)合瓷、金屬陶瓷和纖維增強陶瓷等?!暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕!五展聯(lián)動;第17屆中國?國際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(PM CHINA)、2025上海國際線圈、變壓器、電感、電機與磁性材料展覽會(MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(AM CHINA)和2025上海國際粉體加工與處理展覽會(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動,串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺競技,又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺。展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠邀您蒞臨參觀!
得益于碳化硅的物理特性,其功率器件較硅基器件具有更高的工作頻率、更高的能量轉(zhuǎn)換效率、更好的散熱能力。碳化硅功率器件和功能模塊廣泛應(yīng)用于新能源汽車、光伏發(fā)電、電源、軌道交通等領(lǐng)域。在新能源汽車領(lǐng)域,碳化硅功率器件主要用于電驅(qū)主逆變器、車載充電器(OBC)及DC-DC(直流—直流)轉(zhuǎn)換器。隨著新能源汽車需求增長及碳化硅功率器件的普及,其市場規(guī)模將進一步擴大。在光伏發(fā)電領(lǐng)域,碳化硅功率器件主要用于光伏逆變器,能提高能量轉(zhuǎn)換效率、降低能量損耗、增加功率密度并解決系統(tǒng)成本。隨著光伏電站電壓等級從1000V提升至1500V,未來將進一步提升至1700V乃至2000V,在更高的電壓等級下,碳化硅功率器件的優(yōu)勢將更加突出?!暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕!展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。誠邀您蒞臨參觀!“中國?國際先進陶瓷展覽會”分享行業(yè)前沿技術(shù):2025年3月10-12日上海世博展覽館。誠邀您蒞臨參觀!
碳化硅是通過鍵能很高的共價鍵結(jié)合的晶體。碳化硅是用石英沙(SiO2)加焦碳直接加熱至高溫還原而成,其燒結(jié)工藝主要有熱壓和反應(yīng)燒結(jié)兩種。由于碳化硅表面有一層薄氧化膜,因此很難燒結(jié),需添加燒結(jié)助劑促進燒結(jié),常加的助劑有硼、碳、鋁等。碳化硅的特點是高溫強度高,有很好的耐磨損、耐腐蝕、抗蠕變性能,其熱傳導(dǎo)能力很強,僅次于氧化鈹陶瓷。碳化硅陶瓷常用于制造火箭噴嘴、澆注金屬的喉管、熱電偶套管、爐管、燃氣輪機葉片及軸承,泵的密封圈、拉絲成型模具等?!暗谑邔弥袊?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕!展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠邀您蒞臨參觀!深耕行業(yè)市場,拓展業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò),中國?國際先進陶瓷展,2025年3月10-12日上海世博展覽館。誠邀您蒞臨參觀!2025年3月10-12日華東區(qū)國際先進陶瓷行業(yè)技術(shù)峰會
第十七屆中國國際先進陶瓷展覽會, 2025年3月10-12日上海世博展覽館。誠邀您蒞臨參觀!上海市國際先進陶瓷技術(shù)展覽會
碳化硅主驅(qū)芯片可靠性驗證要求極高,需7-8年才能實現(xiàn)從設(shè)計到量產(chǎn)。國外廠商技術(shù)和產(chǎn)量的優(yōu)勢,并通過車企驗證,基本壟斷了碳化硅主驅(qū)芯片供應(yīng)端。國內(nèi)企業(yè)尚處于可靠性驗證起始階段,未實現(xiàn)批量供應(yīng)。國產(chǎn)主驅(qū)芯片需克服可靠性驗證和批量化生產(chǎn)兩大難關(guān),確保大規(guī)模供應(yīng)的同時保證產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定是行業(yè)性難題。“第十七屆中國?國際先進陶瓷展覽會”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開幕。五展聯(lián)動;第17屆中國?國際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(PM CHINA)、2025上海國際線圈、變壓器、電感、電機與磁性材料展覽會(MMIC CHINA)、2025上海國際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(AM CHINA)和2025上海國際粉體加工與處理展覽會(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動,串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺競技,又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺。展會展覽面積將超過50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個,國內(nèi)外觀眾預(yù)計將達到70,000人次。展會打通供需堵點,整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等一應(yīng)俱全的產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠邀您蒞臨參觀!上海市國際先進陶瓷技術(shù)展覽會