華東區(qū)國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)發(fā)展論壇

刻蝕技術(shù)是SiC器件研制的關(guān)鍵，刻蝕精度、損傷和表面殘留物對(duì)器件性能至關(guān)重要。目前，SiC刻蝕多采用干法刻蝕，其中電感耦合等離子體（ICP）刻蝕因其低壓高密度的特點(diǎn)，具有刻蝕速率高、器件損傷小、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，而廣泛應(yīng)用。此外，刻蝕中的掩膜材料、蝕刻選擇、混合氣體、側(cè)壁控zhi、蝕刻速率和側(cè)壁粗糙度等需針對(duì)SiC材料特性開(kāi)發(fā)?？涛g環(huán)節(jié)主要挑戰(zhàn)包括實(shí)現(xiàn)更小尺寸器件結(jié)構(gòu)、提高深寬比和形貌圓滑度，以及從淺溝槽向深溝槽的轉(zhuǎn)變等。主流的SiCICP刻蝕設(shè)備廠商包括德國(guó)Plasma-Therm及Sentech、瑞士TEL、美國(guó)AMAT、英國(guó)牛津儀器、日本Samco及愛(ài)發(fā)科，及我國(guó)北方華創(chuàng)、中國(guó)電科48所、中微半導(dǎo)體、中科院微電子所、珠海恒格微電子、稷以科技等。北方華創(chuàng)在SiC器件領(lǐng)域具備完整的刻蝕解決方案，其SiC器件刻蝕機(jī)出貨量的市占率較高。“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。誠(chéng)邀您蒞臨參觀！中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)，助力企業(yè)發(fā)展行業(yè)繁榮，與行業(yè)精英攜手共創(chuàng)無(wú)限商機(jī)，3月10日在上海恭候您！華東區(qū)國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)發(fā)展論壇

“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！陶瓷基板產(chǎn)品問(wèn)世，開(kāi)啟散熱應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展，由于陶瓷基板散熱特色，加上陶瓷基板具有高散熱、低熱阻、壽命長(zhǎng)、耐電壓等優(yōu)點(diǎn)，隨著生產(chǎn)技術(shù)、設(shè)備的改良，產(chǎn)品價(jià)格加速合理化，進(jìn)而擴(kuò)大LED產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域，如家電產(chǎn)品的指示燈、汽車車燈、路燈及戶外大型看板等。陶瓷基板的開(kāi)發(fā)成功，更將成為室內(nèi)照明和戶外亮化產(chǎn)品提供服務(wù)，使LED產(chǎn)業(yè)未來(lái)的市場(chǎng)領(lǐng)域更寬廣。誠(chéng)邀您蒞臨參觀！2025年3月10日-12日華東國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇提高材料性能，創(chuàng)新技術(shù)工藝，“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)：展會(huì)將于2025年3月10-12日上海世博展覽館開(kāi)幕。

從國(guó)內(nèi)看，碳化硅制造廠商包括長(zhǎng)飛先進(jìn)、芯聯(lián)集成、上海積塔、比亞迪、三安光電、士蘭微、泰科天潤(rùn)等，其中長(zhǎng)飛先進(jìn)、芯聯(lián)集成、上海積塔已實(shí)現(xiàn)碳化硅MOSFET產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)，其他企業(yè)尚不具備大規(guī)模量產(chǎn)能力。三家企業(yè)產(chǎn)能合計(jì)為25萬(wàn)片/年，規(guī)劃產(chǎn)能為44.8萬(wàn)片/年。國(guó)外he心技術(shù)封鎖為常態(tài)，國(guó)產(chǎn)替代需求迫切。和許多先進(jìn)科技一樣，國(guó)內(nèi)發(fā)展碳化硅產(chǎn)業(yè)也受到國(guó)外技術(shù)禁運(yùn)的限制，尤其是寬禁帶半導(dǎo)體器件在jun事領(lǐng)域的應(yīng)用，這進(jìn)一步催生了國(guó)產(chǎn)替代的迫切需求。國(guó)內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)在自主創(chuàng)新的推動(dòng)下，正加速自主研發(fā)步伐，以bao障供應(yīng)鏈的安全穩(wěn)定?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！

五展聯(lián)動(dòng)；孕育無(wú)限發(fā)展商機(jī)；IACECHINA2025將與第17屆中國(guó)國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)（PMCHINA）、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)（MMICCHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)（AMCHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)（POWDEXCHINA）同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。本屆展會(huì)（2025年）展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。2025年3月10-12日上海世博展覽館。誠(chéng)邀您蒞臨參觀！2025年3月10-12日，讓我們相聚中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)，共同探索先進(jìn)陶瓷行業(yè)的萬(wàn)千可能！

按化學(xué)成分可分為：氧化物陶瓷、氮化物陶瓷、碳化物陶瓷、硼化物陶瓷、硅化物陶瓷、復(fù)合瓷、金屬陶瓷和纖維增強(qiáng)陶瓷等3.1.1氧化物陶瓷(A2O3、ZrO2、MgO等)3.1.2氮化物陶瓷(Si3N4TN、BN等)3.1.3碳化物陶瓷(SiC、BC、WC等)3.1.4硼化物陶瓷(TB2、ZrB2等)3.1.5硅化物陶瓷、復(fù)合瓷、金屬陶瓷和纖維增強(qiáng)陶瓷等?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！五展聯(lián)動(dòng)；第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)（PM CHINA）、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)（MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)（AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)（POWDEX CHINA）同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng)，串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈，吸引更多的觀眾群體，形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技，又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！2025年3月10日中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展，匯聚眾多國(guó)內(nèi)外杰出供應(yīng)商和制造商，誠(chéng)邀您蒞臨上海探索無(wú)限商機(jī)。2025年3月10日-12日華東國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇

靠技術(shù)騰飛，借展會(huì)布局，云集中外品牌的“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)：2025年3月10-12日我們上海見(jiàn)！華東區(qū)國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)發(fā)展論壇

外延生長(zhǎng)技術(shù)是碳化硅器件的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，外延質(zhì)量對(duì)器件性能影響很大，碳化硅襯底無(wú)法直接制作器件，優(yōu)質(zhì)外延工藝可改進(jìn)微管（Micropipe）、多型、劃痕、層錯(cuò)、貫穿螺型位錯(cuò)（TSD）、貫穿刃型位錯(cuò)（TED）和基平面位錯(cuò)（BPD）等襯底缺陷，減少外延生長(zhǎng)缺陷，同時(shí)精確控zhi摻雜濃度，提升均勻性和器件良率。不同外延層厚度對(duì)應(yīng)不同耐壓等級(jí)的器件規(guī)格。通常，1μm的外延層對(duì)應(yīng)100V左右的耐壓；耐壓在600V左右時(shí)，需要6μm左右的外延層；耐壓高于10000V時(shí)，外延層厚度需在100μm以上?！暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕！展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米，中外展商約900家，參展品牌1500個(gè)，國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn)，整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源，集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀！華東區(qū)國(guó)際先進(jìn)陶瓷技術(shù)發(fā)展論壇