氣體管道設計有很多方面，都有不同的要求，氣體管道敷設，氣體管道、閥門和附件，氣體管道連接及安全問題都有要求。氣體管道設計規(guī)范：1、穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應敷在預埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采用非燃燒材料嚴密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設放空管。放空管應高出層頂2m以上，并應設在防雷保護區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應設取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應按國家現(xiàn)行有關規(guī)定執(zhí)行。壓力調(diào)節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號、氣體種類、濃度等標識。無錫氣體管道設計公司
引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。不銹鋼管件在現(xiàn)場安裝時方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮氣進行大流量吹掃，以確保整個系統(tǒng)的潔凈度。供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進行相關的強度測試、密封測試和穩(wěn)定性測試。南京氦氣氣體管道設計市價減少管路“死區(qū)”，管路中不應設有盲管，減少不流動氣體的“死區(qū)”。
氣體管道敷設要求?：1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.50m;交叉敷設時，其間距不應小于0.25m。分層敷設時，氫氣管道應位于上方。4、室內(nèi)氫氣管道不應敷設在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導電線路同架敷設。?
近20年來，隨著更復雜、更密集的大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，對高純氣體潔凈度的要求，已不亞于對純度和干燥度的要求，凡工藝氣體，無一不對其中的粒子提出限制。因此，對于高純氣體，純度、干燥度、潔凈度是三項重要的標度。由于高純度氣體的使用地點、性質(zhì)、工況（如溫度、壓力等）都不完全一致，所以，如何確定高純氣體的“三度”（純度、干燥度、潔凈度），還沒有一個嚴格而明確的概念。 對于純度和干燥度的控制，我國CBJ73—84《潔凈廠房設計規(guī)范》中指出，“高純氣體系指純度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm氣體。”氫氣和氧氣管道所用的附件和儀表必須是該介質(zhì)的專門使用產(chǎn)品，不得代用。
當供氣系統(tǒng)有若干臺壓縮機組成的時候，儲氣罐的大小需要基于排量較大的壓縮機排量進行選型。這些管路輔件的尺寸選擇對整個官網(wǎng)壓損有非常大的影響，因為通常系統(tǒng)壓損大正是因為輔件選型不當而導致的。下面這個公式可以用于計算供氣管網(wǎng)系統(tǒng)在指定允許壓損時管路較長尺寸：管網(wǎng)系統(tǒng)總體管路長度 (m); ?p = 管網(wǎng)系統(tǒng)指定允許的壓損 (bar); p = 進氣壓力（絕壓 (bar(a)); qc = 空壓機自由排氣流量 (l/s); d = 管網(wǎng)管道直徑 (mm)供氣管網(wǎng)較好采用圍繞終端用氣點的閉式環(huán)形管網(wǎng)設計，然后通過供氣支管從環(huán)形主管道送往各個用氣點。這樣的設計實現(xiàn)了單一供氣的目的，同時避免了嚴重的間歇性用氣問題，因為氣源可以同時從兩個方向向用氣點供氣。除了較大用氣點位于離空壓機較遠的情況，所有供氣系統(tǒng)都應該采用此設計。當上述情況出現(xiàn)時，應該用單獨的供氣管道向較遠端的較大用氣點供氣。氣體管道與設備、閥門及其他附件的連接應采用法蘭或螺紋連接。鋁合金氣體管道設計市場價格
氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設放空管。無錫氣體管道設計公司
氣體管道敷設要求：1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.50m;交叉敷設時，其間距不應小于0.25m。分層敷設時，氫氣管道應位于上方。4、室內(nèi)氫氣管道不應敷設在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導電線路同架敷設。?無錫氣體管道設計公司