對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。浙江氮?dú)鈿怏w管道設(shè)計(jì)安裝
氣瓶間布局，1.由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃?xì)怏w，按國家規(guī)定必須分庫存放。分別放入不同的氣瓶間內(nèi)。2.氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板，其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。3.壓力調(diào)節(jié)器入口前需加裝燒結(jié)金屬過濾器以防止顆粒等雜質(zhì)污染系統(tǒng)。4.所有面板均配備吹掃閥，可實(shí)現(xiàn)對面板的清洗置換。5.壓力調(diào)節(jié)器及相關(guān)管件均需牢固的固定在壓力調(diào)節(jié)面板上，面板應(yīng)設(shè)計(jì)的緊湊而合理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。6.壓力調(diào)節(jié)面板應(yīng)采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全性。7.排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點(diǎn)。江蘇氦氣氣體管道設(shè)計(jì)市價(jià)采用同等級輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備臨近處設(shè)末端氣體提純裝置。
氣體管道、閥門和附件要求：1、氣體管道宜采用無縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。2、氣體管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道。如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳膠管。3、閥門和附件的材質(zhì)：對氫氣和煤氣管道不得采用銅質(zhì)材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。氫氣和氧氣管道所用的附件和儀表必須是該介質(zhì)的專門使用產(chǎn)品，不得代用。4、閥門與氧氣接觸部分應(yīng)采用非燃燒材料。其密封圈應(yīng)采用有色金屬、不銹鋼及聚四氟乙烯等材料。填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、氣體管道中的法蘭墊片其材質(zhì)應(yīng)依管內(nèi)輸送的介質(zhì)確定。
吸送式，通常以20～40 m/s的高速氣流在管路系統(tǒng)內(nèi)懸浮輸送物料，較高真空度可達(dá)60 kPa。該系統(tǒng)在許多行業(yè)中采用，如圖2.1.0所示，物料的輸送過程是在風(fēng)機(jī)的一側(cè)完成的，該系統(tǒng)具有以下特點(diǎn)。1—回轉(zhuǎn)式供料器；2—料倉；3—輸料管；4－次旋風(fēng)分拽器；5－排料器；6一料罐；7一二次旋風(fēng)分離器；8一羅茨鼓風(fēng)機(jī)。1 保證物料和灰塵不會飛逸外揚(yáng)。2 適宜于物料從幾處向一處集中輸送。3 適用于堆積面廣或存放在深處的物料輸送。4 進(jìn)料方式比壓送系統(tǒng)中的供料器簡單。5 對卸料口、除塵器的嚴(yán)密性要求高，致使這兩種設(shè)備構(gòu)造較復(fù)雜。6 輸送量、輸送距離受到限制，且動(dòng)力消耗較高。氫氣管道不得用螺紋連接。
供氣管網(wǎng)的布置、設(shè)計(jì)和尺寸選擇對要說空氣系統(tǒng)的效率、可靠性和壓縮空氣的整體能耗都有非常大的影響。比如說，有時(shí)候我們必須通過空提高空壓機(jī)的供氣壓力以彌補(bǔ)因較大的管道壓損造成的終端壓力不足，從壓縮空氣的系統(tǒng)能耗來說，這是非常不經(jīng)濟(jì)的設(shè)計(jì)。此外，當(dāng)用氣需求降低的時(shí)候管道系統(tǒng)的壓損也會隨之降低，從而在終端用氣點(diǎn)的壓力卻不斷上升甚至達(dá)到用氣壓力限值。 一般來說壓縮空氣的官網(wǎng)設(shè)計(jì)要達(dá)到從空壓機(jī)出口到較遠(yuǎn)端的用氣點(diǎn)之間的壓損不超過0.1 bar。 這0.1bar的壓損包括官網(wǎng)間連接管路、管接頭和其它管路連接件產(chǎn)生的壓損。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。浙江氮?dú)鈿怏w管道設(shè)計(jì)安裝
氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.50m。浙江氮?dú)鈿怏w管道設(shè)計(jì)安裝
氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范：1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣1 - 3 次/h 的通風(fēng)措拖。2.按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)空，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。3.穿過實(shí)驗(yàn)室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。4.氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。5.氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。浙江氮?dú)鈿怏w管道設(shè)計(jì)安裝