高純氣體的配管及材質(zhì)，高純氣體管路的設計要點：1.對于不同特性的氣體，要規(guī)劃單獨的供應區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。按標準單元組合設計的通用實驗室，各種氣體管道也應按標準單元組合設計。浙江特殊氣體管道設計注意事項
助燃氣體：窒息性氣體，此類氣體無色、無臭、低毒性，但是大量窒息性氣體的泄漏或排入大氣中會使空氣中氧的濃度降低，當空氣中的氧濃度低于18％時，人會感覺到頭暈惡心，甚至會造成窒息死亡。所以一定要嚴防氣體的泄漏。在使用場所設置必要的換氣，及時將窒息性氣體排至室外。有毒氣體，在使用、貯存有毒氣體的場所應設有可靠的通風裝置。和毒氣泄漏報警裝置一旦空氣中有毒氣體達到規(guī)定值時，應進行報警，同時自動開啟自動排氣裝置，有毒氣體在排入大氣前必須經(jīng)過可靠的處理，達到規(guī)定的無害狀態(tài)后方可排放。此類氣體一遇水就會顯示強腐蝕性，因此在腐蝕性氣體系統(tǒng)使用前應以干燥氮氣等對系統(tǒng)設備、管道進行吹掃、干燥，尤其時高壓儲氣瓶的灌裝口，因環(huán)境空氣中的水分易引起腐蝕必須裝設氣瓶帽，并在裝氣瓶帽時使用氮氣對灌裝口進行充分的干燥。浙江氨氣氣體管道設計市價根據(jù)用氣設備的分布情況嗎，高純氣體的管網(wǎng)大小長短應適宜，不宜過大或過長。
高純氣體中間供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測試設備所用高純工作氣體的傳輸而設計，系統(tǒng)需要為分析設備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過長距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設備的使用要求。系統(tǒng)同時還應該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理。1.氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成。2.氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與壓力調(diào)節(jié)器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無滲透。高壓軟管為柔性軟管，以保證連接的方便性。并自導防護鋼纜，預防極端情況下，鋼瓶閥損壞等現(xiàn)象帶來的高壓“抽鞭”事故。壓力調(diào)節(jié)器與管道的連接方式為雙環(huán)卡套。3.高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。
對于低蒸汽壓氣體(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。壓力管道拐彎應力集中區(qū)應有安全加固，設計合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。
氣路的布線：1. 管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。2. 管道之間采用先進的美國全自動定位軌道式氬弧焊機進行內(nèi)外保護氬弧焊（TIG）方式連接，其優(yōu)點是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。3. 管路上的三通全部采用焊接三通來實現(xiàn)連接，可更有效保證氣體的傳輸質(zhì)量。4. 管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu)美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。5. 氣體管路在鋪設過程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應設置一組管卡。卡具應由不燃材料制作而成，美觀大方。實驗室氣體管道功能性要求，管道設計應滿足氣體使用的流量和壓力要求，保證實驗過程中供氣的穩(wěn)定性。浙江氬氣氣體管道設計施工規(guī)范
實驗室氣體管道安全性，氣體管道應使用耐腐蝕、耐壓、無泄漏的材質(zhì)。浙江特殊氣體管道設計注意事項
負壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優(yōu)點。內(nèi)部單向閥保護吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護環(huán)境和減少油的損失。由于該設備是空氣冷卻，設備機房必須要有良好的透風。負壓吸引系統(tǒng)附屬設備：雙重細菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護真空系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。浙江特殊氣體管道設計注意事項