日本把微電子生產(chǎn)中所采用的氣體，按其不同的品位，具體分為下列幾個不同的檔次：1.超高純氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高純氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以內(nèi)。3.潔凈氣體，氣體中雜質(zhì)總含量控制在10 ppm以下,對水份含量未作嚴(yán)格規(guī)定。 上述規(guī)定，都未涉及潔凈度。我們知道集成電路的生產(chǎn)，幾乎都是在潔凈環(huán)境中進(jìn)行，是防止塵埃粒子污染微電子產(chǎn)品所必需的。所以，對潔凈的生產(chǎn)環(huán)境絕不允許采用不潔凈的氣體來破壞，必須使氣體的潔凈度與潔凈環(huán)境保持一致，根據(jù)相關(guān)資料以及近些年公司相關(guān)工程的經(jīng)驗進(jìn)行了一些歸納。實驗室氣體管道安全性，氣體管道應(yīng)使用耐腐蝕、耐壓、無泄漏的材質(zhì)。江蘇礦用氣體管道設(shè)計廠商
氣體管道敷設(shè)要求：1、輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2、氧氣管道與其它氣體管道可同架敷設(shè)，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其它氣體管道之上。3、氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.50m;交叉敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.25m。分層敷設(shè)時，氫氣管道應(yīng)位于上方。4、室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。5、氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。?南京氮氣氣體管道設(shè)計市場價格氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。
壓送式，壓送式氣力輸送系統(tǒng)是靠壓氣機械產(chǎn)生的正壓氣流化輸送管道中進(jìn)行輸送。如圖1.2.2.0所示，物料的輸送過程是在壓氣機械的壓氣段一側(cè)完成的。1一回轉(zhuǎn)式供料器；2一羅茨鼓風(fēng)機；3一料斗；4一輸料管；5一旋風(fēng)分離器；6一料倉。該系統(tǒng)具有以下特點：1 適合于大流量、長距離輸送；2 卸料器結(jié)構(gòu)簡單；3 能夠防止雜質(zhì)和油、水浸入系統(tǒng)；4 容易造成粉塵外揚。壓送式氣力輸送可分為低壓壓送式、中壓壓送式和高壓壓送式三類。1) 低壓壓送式用中速氣流在管路系統(tǒng)中懸浮輸送物料，操作表壓一般為82 kPa以下，較高約達(dá)100 kPa。2) 中壓壓送采用低速氣流，操作表壓可達(dá)310 kPa。3) 高壓壓送也采用低速氣流，操作表壓可達(dá)860 kPa?；旌鲜剑旌鲜綒饬斔褪俏秃蛪核蛢煞N方式組合在一起而構(gòu)成的，該系統(tǒng)具有兩者的共同特點，較適宜于長距離輸送物料。除了以上三種氣力輸送系統(tǒng)外，還有一些特殊類型的氣力輸送系統(tǒng)，如脈沖栓流式、文丘里供料式低壓壓送系統(tǒng)、循環(huán)輸送式、空氣槽等。
氣體管道設(shè)計有很多方面，都有不同的要求，氣體管道敷設(shè)，氣體管道、閥門和附件，氣體管道連接及安全問題都有要求。氣體管道設(shè)計規(guī)范：1、穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計的通用實驗室，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計。
負(fù)壓吸引系統(tǒng)：系統(tǒng)需設(shè)水分離器，地面必須有排水槽。油潤滑滑片式真空泵：具有空氣冷卻、低噪音、震動少的優(yōu)點。內(nèi)部單向閥保護(hù)吸引系統(tǒng)不被污染，油霧分離器保護(hù)環(huán)境和減少油的損失。由于該設(shè)備是空氣冷卻，設(shè)備機房必須要有良好的透風(fēng)。負(fù)壓吸引系統(tǒng)附屬設(shè)備：雙重細(xì)菌過濾器：防止真空泵及真空罐被污染。不中斷氣流可替換過濾器：2個可交替使用的微粒過濾器。污物接收器：收集污染的及液體，保護(hù)真空系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)，不中斷氣流可清理污染物。真空緩沖罐：防止真空泵頻繁起動。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。江蘇礦用氣體管道設(shè)計廠商
氫氣管道與其它可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時，其間距不應(yīng)小于0.50m。江蘇礦用氣體管道設(shè)計廠商
供氣管網(wǎng)的布置、設(shè)計和尺寸選擇對要說空氣系統(tǒng)的效率、可靠性和壓縮空氣的整體能耗都有非常大的影響。比如說，有時候我們必須通過空提高空壓機的供氣壓力以彌補因較大的管道壓損造成的終端壓力不足，從壓縮空氣的系統(tǒng)能耗來說，這是非常不經(jīng)濟的設(shè)計。此外，當(dāng)用氣需求降低的時候管道系統(tǒng)的壓損也會隨之降低，從而在終端用氣點的壓力卻不斷上升甚至達(dá)到用氣壓力限值。 一般來說壓縮空氣的官網(wǎng)設(shè)計要達(dá)到從空壓機出口到較遠(yuǎn)端的用氣點之間的壓損不超過0.1 bar。 這0.1bar的壓損包括官網(wǎng)間連接管路、管接頭和其它管路連接件產(chǎn)生的壓損。江蘇礦用氣體管道設(shè)計廠商