中芯國際隔振臺輪廓測量應(yīng)用

LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計、制造和測試均符合測量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實際位置并不重要，但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。中芯國際隔振臺輪廓測量應(yīng)用

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時進行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標：頻率：1.2-200Hz負載范圍：0-1200公斤（單件）：600公斤晶圓隔振臺國內(nèi)代理TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。

TS-140+40TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)特點與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制（M6x25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好，實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克

關(guān)鍵詞：主動式隔震臺、主動式隔振臺、主動式防振臺、防振臺、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動傳遞率橫坐標為頻率，縱坐標為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時不同方向上振動衰減的數(shù)據(jù)（實驗室實驗數(shù)據(jù)）垂直方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計以實現(xiàn)對諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達到蕞終的性能。事實證明，該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。技術(shù)指標：頻率：1.2-300赫茲負載范圍：0-40公斤尺寸圖300x300x70毫米（長x寬x高）11.8x11.8x2.75英寸隔離：動態(tài)1.2Hz至300Hz，主要在較高頻率下為無源透射率：高于?10Hz的透射率<0.01（-40dB）矯正力：垂直±8N，水平±4N靜態(tài)合規(guī)性：27μm/N最大負載（中心負載）：40公斤88.18磅重量：9.2公斤20.3磅示波器上顯示的多路復(fù)用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的。隔振臺廠家

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性使得其有出色的方向性和位置穩(wěn)定性。中芯國際隔振臺輪廓測量應(yīng)用

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。

為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。

AVI400-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時，避免了任何復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標：頻率：1.2-200Hz負載范圍：0-800公斤（單件）：400公斤 中芯國際隔振臺輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大。一批專業(yè)的技術(shù)團隊，是實現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標的基礎(chǔ)，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動力。公司以誠信為本，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀，我們本著對客戶負責，對員工負責，更是對公司發(fā)展負責的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意。公司深耕半導(dǎo)體工藝設(shè)備，半導(dǎo)體測量設(shè)備，光刻機 鍵合機，膜厚測量儀，正積蓄著更大的能量，向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展。