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輪廓儀產(chǎn)品概述:
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光
垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
想要了解更多的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)。3D輪廓儀可以免稅嗎
表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用:
一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:
通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。
二、提高效率:
智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:
表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。 3D形貌輪廓儀供應(yīng)商每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國(guó)物理學(xué)家
曾從事光速的精密測(cè)量工作
邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
1881年,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de 存在,為愛(ài)因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。
由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。
NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置 :
? XY比較大行程650*650mm
? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸
? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度
1um
? XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度:200mm/s
? Z 軸聚焦:100mm行程自動(dòng)聚焦,0.1um移動(dòng)步進(jìn)
? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石
? 配置真空臺(tái)面
? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息
? 主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光
垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求
保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損
可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便
輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。自動(dòng)測(cè)量輪廓儀國(guó)內(nèi)用戶輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。3D輪廓儀可以免稅嗎
儀器儀表行業(yè)飛速發(fā)展一是因?yàn)槲覈?guó)的經(jīng)濟(jì)高速穩(wěn)定發(fā)展的運(yùn)行;按照過(guò)去的經(jīng)驗(yàn),如果GDP的增長(zhǎng)在10%以上時(shí),儀表行業(yè)的增長(zhǎng)率則在26%~30%之間。二是因?yàn)槲覈?guó)宏觀調(diào)控對(duì)儀表行業(yè)的影響有一個(gè)滯后期,儀表往往在工程的后期才交付使用,因此,因宏觀調(diào)控政策而減少的收入對(duì)儀表行業(yè)的影響不會(huì)太大。隨著網(wǎng)絡(luò)消費(fèi)的不斷遞增,而互聯(lián)網(wǎng)的的商業(yè)價(jià)值不斷被挖掘出來(lái),呈爆發(fā)式增長(zhǎng),傳統(tǒng)的營(yíng)銷模式將逐步被取代。其他有限責(zé)任公司企業(yè)要抓住機(jī)遇,融入到互聯(lián)網(wǎng)發(fā)展的行業(yè)中,為行業(yè)的發(fā)展提高競(jìng)爭(zhēng)力。工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型升級(jí)、提升發(fā)展質(zhì)量等有利于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展;**安全、社會(huì)安全、產(chǎn)業(yè)和信息安全等需要自主、半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x裝備,成為全社會(huì)共識(shí);中國(guó)貿(mào)易型正面臨百年未有之大變局,行業(yè)行家認(rèn)為,中美貿(mào)易戰(zhàn)不會(huì)有終點(diǎn),中美關(guān)系時(shí)好時(shí)壞將成為常態(tài),儀器儀表行業(yè)無(wú)法排除大局勢(shì)的影響,且不要把問(wèn)題聚焦在關(guān)稅上。中國(guó)經(jīng)濟(jì)的高速發(fā)展得益于WTO框架下的全球化分工;現(xiàn)在中國(guó)制造的競(jìng)爭(zhēng)力在于工業(yè)門(mén)類齊全、供應(yīng)鏈完整、供應(yīng)鏈的高度專業(yè)和細(xì)分。3D輪廓儀可以免稅嗎