并使轉(zhuǎn)動(dòng)部件圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部通過來自轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力而轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。通過該轉(zhuǎn)動(dòng)部能夠?qū)⒈槐３植?3保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運(yùn)車50也可以不具備轉(zhuǎn)動(dòng)部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個(gè)例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結(jié)構(gòu)(同一結(jié)構(gòu)或者大致同一結(jié)構(gòu))。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41...

將沿上下方向和y方向排列的多個(gè)第1、第二保管部20a、20b中的較上層且y方向的兩端的兩個(gè)作為第1、第二交接端口30a、30b，并將其他作為第1、第二保管部20a、20b使用。在圖1中對第1、第二交接端口30a、30b標(biāo)注影線。這樣，作為第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的較上層，由此能夠通過高架搬運(yùn)車50和第1、第二起重機(jī)40a、40b雙方進(jìn)行物品2的交接。此外，第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的兩端的兩個(gè)，能夠?qū)⑤^上層的第1、第二保管部20a、20b的全部作為第1、第二交接端口30a、30b使用。此外，第1、第二交接端口30a、30b并...

前端活動(dòng)架位于中間活動(dòng)板的前端側(cè)，中間活動(dòng)板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副，前端活動(dòng)架與中間活動(dòng)板之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活?dòng)架的下端部裝設(shè)有吸盤安裝架，吸盤安裝架裝設(shè)有真空吸盤；固定安裝豎板的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動(dòng)槽，前端活動(dòng)架螺裝有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)塊裝設(shè)有活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸，活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸伸入至固定安裝豎板的活動(dòng)槽內(nèi)且活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸裝設(shè)有嵌插于活動(dòng)槽內(nèi)的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設(shè)有機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸裝設(shè)有位于活動(dòng)槽旁側(cè)且用于撥動(dòng)活動(dòng)架驅(qū)動(dòng)軸動(dòng)作的驅(qū)動(dòng)軸撥動(dòng)塊。通過上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，本實(shí)用新型具有設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定...

搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一...

可旋轉(zhuǎn)360°，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂上設(shè)有扶手，扶手上設(shè)有電腦控制盒，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，屬于一種機(jī)械手。機(jī)械手立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置，旋轉(zhuǎn)臂末端設(shè)有垂臂旋轉(zhuǎn)座，垂臂旋轉(zhuǎn)座與副旋轉(zhuǎn)軸相連接，副旋轉(zhuǎn)軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設(shè)有真空吸盤。該機(jī)械手...

第1、第二起重機(jī)40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運(yùn)物品2。高架搬運(yùn)車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動(dòng)，在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進(jìn)行物品2的交接。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地，具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部和多個(gè)車輪71a(參照圖6...

控制頭19包括頂端開設(shè)有開口一22、底端開設(shè)有開口二23的殼體24，開口一22與搬運(yùn)管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應(yīng)連通(即一根支管29連通一個(gè)吸盤20)，開口二23上設(shè)置有位于殼體24內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實(shí)施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時(shí)了解控制頭19內(nèi)的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄，可隨意控制搬運(yùn)管15的上升、下降，以方便搬運(yùn)。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿...

搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一...

第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的一個(gè)端部(+y側(cè)的端部)連結(jié)。第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16與第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12各自的另一個(gè)端部(-y側(cè)的端部)連結(jié)。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個(gè)軌道。入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，...

在第1、第二起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)的情況下，由于無需在與第1、第二起重機(jī)對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，因此能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。另外，在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道，第1起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛，第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛的情況下，能夠減少從區(qū)段間頂棚軌道駛?cè)雲(yún)^(qū)段內(nèi)頂棚軌道的高架搬運(yùn)車與沿著該區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第1、第二起重機(jī)干擾的可能性，并且，能夠簡化高架搬運(yùn)車和第1、第二起重機(jī)的控制。另外，在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的較上層的情況下，能夠通過高架搬運(yùn)車和第1、第二起重...