活動架驅動塊71裝設有活動架驅動軸72，活動架驅動軸72伸入至固定安裝豎板11的活動槽111內且活動架驅動軸72裝設有嵌插于活動槽111內的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設有機械手驅動電機8，機械手驅動電機8的動力輸出軸裝設有位于活動槽111旁側且用于撥動活動架驅動軸72動作的驅動軸撥動塊9。需進一步指出，水平導軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導軌41、螺裝于中間活動板2的水平滑塊42，水平導軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向導軌副5包括有設置于前端活動架3且呈豎向布置的豎向導軌51、螺裝于中間活動板2的豎向滑塊52，豎向導軌51與豎向滑塊52相...

并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機40a、40b使用兩臺第1、第二行駛部41a、41b(參照圖2和圖3)。兩臺第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a...

能夠比第1、第二起重機40a、40b更快移動，因此通過高架搬運車50進行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運，從而能夠在短時間內搬運物品2。這樣，將第1、第二起重機40a、40b與高架搬運車50的作用分開，由此能夠使搬運系統(tǒng)100整體的物品2的搬運效率提高。另外，將第1區(qū)段內頂棚軌道11由第1起重機40a與高架搬運車50共享，并將第二區(qū)段內頂棚軌道12由第二起重機40b與高架搬運車50共享，因此無需另外設置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道10的鋪設所需要的成本。另外，高架搬運車50能夠在第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛，因此如圖5的單點劃...

使保持部49上升，由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時，將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方，在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺43a、43b上升，由此利用保持部49將物品2提起。接著，第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48，由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺43a、43b的下方。此外，第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結構。例如，也可以是保持部49載置物品2的結構，也可以是保持部49把持且保持物品2的側面的結構。第1、第二升降驅動部45a、45b例如使用...

本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪...

前端活動架與中間活動板之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副，前端活動架的下端部裝設有吸盤安裝架，吸盤安裝架裝設有真空吸盤；固定安裝豎板的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽，前端活動架螺裝有活動架驅動塊，活動架驅動塊裝設有活動架驅動軸，活動架驅動軸伸入至固定安裝豎板的活動槽內且活動架驅動軸裝設有嵌插于活動槽內的軸承；固定安裝豎板的后表面裝設有機械手驅動電機，機械手驅動電機的動力輸出軸裝設有位于活動槽旁側且用于撥動活動架驅動軸動作的驅動軸撥動塊。其中，所述水平導軌副包括有螺裝于所述固定安裝豎板且沿著左右方向水平延伸的水平導軌、螺裝于所述中間活動板的水平滑塊，水平導軌與水平滑塊相配合。其中，所述豎...

能夠減少第二起重機40b與高架搬運車50產(chǎn)生干擾的時刻、和高架搬運車50彼此產(chǎn)生干擾的時刻。另外，也有第二起重機40b或者其他高架搬運車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內頂棚軌道12的情況，但能夠通過高架搬運車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機40b或者其他高架搬運車50的干擾。在高架搬運車50的行駛方向上存在第二起重機40b或者其他高架搬運車50的情況下，也可以由控制裝置60等針對第二起重機40b或者其他高架搬運車50指示周期性行駛，確保搬運物品2的高架搬運車50的行駛。另外，第二起重機40b或者其他高架搬運車50也可以代替在第二區(qū)段內頂棚軌道12上環(huán)繞行駛，而從第二區(qū)...

萬向輪、2移動小車、3拉桿、4立柱、5主升降氣缸、6主旋轉座、7主旋轉軸、8主關節(jié)鎖死裝置、9大側板、10擺動主臂、11擺動副臂、12副關節(jié)鎖死裝置、13連接板、14橫臂旋轉座、15旋轉臂主軸、16旋轉臂、17垂臂旋轉座、18副旋轉軸、19下垂臂、20扶手、21真空吸盤、22工件。具體實施方式在圖中，移動小車2截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪1，移動小車2頂端中部設有立柱4，左側設有拉桿3，立柱4頂端設有主旋轉座6，可旋轉360°，主旋轉座6通過主旋轉軸7與大側板9相連接，大側板9內設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸5相連接，大側板9左側下端設有主升降氣缸5，大側板9上設有內...

本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪...

第1、第二起重機40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第1交接端口30a的情況下，若第1起重機40a能夠搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp，則將物品2搬運至該裝載端口lp，若第1起重機40a不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運至第1保管部20a，在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第1保管部20a搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第二交接端口30b的情況下，若第二起重機40b能夠搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口...

控制頭19包括頂端開設有開口一22、底端開設有開口二23的殼體24，開口一22與搬運管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對應連通(即一根支管29連通一個吸盤20)，開口二23上設置有位于殼體24內的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時了解控制頭19內的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉手把的操作手柄，可隨意控制搬運管15的上升、下降，以方便搬運。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿...

使保持部49上升，由此將物品2懸掛保持。在第1、第二移送部44a、44b接收物品2時，將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方，在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使第1、第二升降臺43a、43b上升，由此利用保持部49將物品2提起。接著，第1、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48，由此將保持有物品2的保持部49配置于第1、第二升降臺43a、43b的下方。此外，第1、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結構。例如，也可以是保持部49載置物品2的結構，也可以是保持部49把持且保持物品2的側面的結構。第1、第二升降驅動部45a、45b例如使用...

本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道...

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。圖I為本實用新型的結構示意圖；圖2為本實用新型中支柱的放大剖視結構示意圖；圖3為本實用新型中控制頭的結構示意圖。·具體實施方式如圖I、圖2、圖3所示，本實用新型輕型真空搬運機，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉軸套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接與旋轉軸套6的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿4與旋轉軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通，另一端與搬運管15連通，真空吸盤裝置安裝在搬運管15的底端，搬運管15滑動連接安裝...

施邁茨推出了適用于各行業(yè)人工搬運任務的搬運技術。該方案由真空搬運設備（如Jumbo真空管吊具或VacuMaster真空起重機）和配套的軌道系統(tǒng)構成。真空搬運設備選購指導：真空搬運設備的功能和選購真空搬運設備可為客戶打造符合人體工程學的工作環(huán)境。該類設備可有效避免由于抬起和移動重負荷工件而引發(fā)的健康問題。施邁茨推出的真空搬運設備配備有的鋁合金軌道系統(tǒng)。軌道系統(tǒng)的適配性較好，與真空搬運設備搭配使用可令工作效率得到提升，其設計同樣符合人體工程學原理。施邁茨的真空搬運設備分為Jumbo真空管吊具和VacuMaster真空起重機兩大系列。我們的真空搬運設備符合CE認證以及歐盟所有現(xiàn)行的法律標準。...

活動架驅動塊71裝設有活動架驅動軸72，活動架驅動軸72伸入至固定安裝豎板11的活動槽111內且活動架驅動軸72裝設有嵌插于活動槽111內的軸承73；固定安裝豎板11的后表面裝設有機械手驅動電機8，機械手驅動電機8的動力輸出軸裝設有位于活動槽111旁側且用于撥動活動架驅動軸72動作的驅動軸撥動塊9。需進一步指出，水平導軌副4包括有螺裝于固定安裝豎板11且沿著左右方向水平延伸的水平導軌41、螺裝于中間活動板2的水平滑塊42，水平導軌41與水平滑塊42相配合。另外，豎向導軌副5包括有設置于前端活動架3且呈豎向布置的豎向導軌51、螺裝于中間活動板2的豎向滑塊52，豎向導軌51與豎向滑塊52相...

但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內能夠進行各種變更。例如，在上述的搬運系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運車50的移動路徑中配置儲料機(自動倉庫)等。儲料機例如可以設置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運車50可以能夠針對該儲料機的交接端口進行物品2的交接，例如，能夠在儲料機與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻的內容作為本文記載的一部分。附圖標記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置...

搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領域以外的設備，物品2可以是由用于設置搬運系統(tǒng)100的設備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一...

保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結構，也可以是不同結構。升降驅動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構55例如具有在上下方向重疊配置的可動板。可動板能夠向行駛部51的行駛方向的側方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉動部和升降驅...

第1、第二起重機40a、40b能夠在上下的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第1交接端口30a的情況下，若第1起重機40a能夠搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp，則將物品2搬運至該裝載端口lp，若第1起重機40a不能搬運至作為搬運目的地的裝載端口lp，則將物品2搬運至第1保管部20a，在變?yōu)槟軌虬徇\的時刻將物品2從第1保管部20a搬運至作為搬運目的地的第1處理裝置tl1的裝載端口lp。另外，在物品2被高架搬運車50載置于第二交接端口30b的情況下，若第二起重機40b能夠搬運至作為搬運目的地的第二處理裝置tl2的裝載端口...

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明。圖I為本實用新型的結構示意圖；圖2為本實用新型中支柱的放大剖視結構示意圖；圖3為本實用新型中控制頭的結構示意圖?！ぞ唧w實施方式如圖I、圖2、圖3所示，本實用新型輕型真空搬運機，包括立柱I、支柱2、旋臂3、斜拉桿4、真空泵13、連接管14、搬運管15、真空吸盤裝置。支柱2包括套置在固定柱5外壁上的旋轉軸套6，固定柱5固定在立柱I的上端，旋臂3—端直接與旋轉軸套6的下端固定連接，另一端則通過斜拉桿4與旋轉軸套6的上端固定連接。連接管14一端與真空泵13連通，另一端與搬運管15連通，真空吸盤裝置安裝在搬運管15的底端，搬運管15滑動連接安裝...

能夠減少第二起重機40b與高架搬運車50產(chǎn)生干擾的時刻、和高架搬運車50彼此產(chǎn)生干擾的時刻。另外，也有第二起重機40b或者其他高架搬運車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內頂棚軌道12的情況，但能夠通過高架搬運車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機40b或者其他高架搬運車50的干擾。在高架搬運車50的行駛方向上存在第二起重機40b或者其他高架搬運車50的情況下，也可以由控制裝置60等針對第二起重機40b或者其他高架搬運車50指示周期性行駛，確保搬運物品2的高架搬運車50的行駛。另外，第二起重機40b或者其他高架搬運車50也可以代替在第二區(qū)段內頂棚軌道12上環(huán)繞行駛，而從第二區(qū)...

可以起重機是懸掛式起重機。另外，可以第1區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道是環(huán)繞軌道，第1起重機和高架搬運車在第1區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛，第二起重機和高架搬運車在第二區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛。另外，可以第1交接端口和第二交接端口配置于第1保管部和第二保管部各自的較上層。另外，本發(fā)明所涉及的搬運方法是如下搬運系統(tǒng)的搬運方法，上述搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道，其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設置；區(qū)段間頂棚軌道，其將第1區(qū)段內頂棚軌道與...

由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。第1、第二保管部20a、20b在各個第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。第1、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向對置配置。第1保管部20a配置于相對于第1區(qū)段內頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。第二保管部20b配置于相對于第二區(qū)段內頂棚軌道12的直線部12a的正下方在x方向錯開的位置。在第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向設置兩層。但是...

第1區(qū)段間頂棚軌道13經(jīng)由第1連接軌道15與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的一個端部(+y側的端部)連結。第二區(qū)段間頂棚軌道14經(jīng)由第二連接軌道16與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的另一個端部(-y側的端部)連結。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個軌道。入口部15a形成供高架搬運車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運車50從第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，...

在第1、第二起重機是懸掛式起重機的情況下，由于無需在與第1、第二起重機對應的地上側(地板面?zhèn)?設置軌道，因此能夠以低成本進行軌道的設置。另外，在第1區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道是環(huán)繞軌道，第1起重機和高架搬運車在第1區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛，第二起重機和高架搬運車在第二區(qū)段內頂棚軌道朝向同一方向環(huán)繞行駛的情況下，能夠減少從區(qū)段間頂棚軌道駛入?yún)^(qū)段內頂棚軌道的高架搬運車與沿著該區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1、第二起重機干擾的可能性，并且，能夠簡化高架搬運車和第1、第二起重機的控制。另外，在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的較上層的情況下，能夠通過高架搬運車和第1、第二起重...

發(fā)明內容本實用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運機械手，利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋...

并使轉動部件圍繞上下方向的軸進行轉動。轉動部通過來自轉動驅動部的驅動力而轉動，能夠使升降驅動部54或者保持部53圍繞上下方向的軸進行轉動。通過該轉動部能夠將被保持部53保持的物品2的朝向改變。此外，高架搬運車50也可以不具備轉動部。圖6是表示第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51的一個例子的圖。第1、第二行駛部41a、41b和行駛部51例如采用共用的結構(同一結構或者大致同一結構)。另外，對于頂棚軌道10中的第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14而言，與行駛方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行駛部41a、41...

另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會影響的吸盤材質的選擇。權利要求1.一種新型真空搬運機械手，含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，其特征是移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋轉360°，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，立柱頂...

并且沿著裝載端口lp設置。第1區(qū)段內頂棚軌道11是以包圍第1保管區(qū)域sa1的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，第二區(qū)段內頂棚軌道12是以包圍第二保管區(qū)域sa2的方式配置為環(huán)狀的環(huán)繞軌道，但并不限定于該結構。第1區(qū)段內頂棚軌道11具有直線部11a和循環(huán)部11b。直線部11a在裝載端口lp的正上方沿著多個裝載端口lp在y方向上配置。直線部11a在俯視下分別配置于第1保管區(qū)域sa1與隔著第1保管區(qū)域sa1對置配置的多個裝載端口lp之間。循環(huán)部11b包含曲線部且配置于y方向的兩端，將兩個直線部11a彼此連接。第二區(qū)段內頂棚軌道12與第1區(qū)段內頂棚軌道11相同地，具有直線部12a和循環(huán)部12b。直線部1...