靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側壁表面630。靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類。蘇州鋁靶材定制
真空離子鍍耐高溫性能: 航空零件,特別是許多發(fā)動機零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內燒煉時,恐怕也達不到這么高的溫度吧?,F(xiàn)代航空發(fā)動機零件在這樣高的溫度下工作,依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么,發(fā)動機零件怎樣才能不怕高溫燒蝕呢?目前除在零件結構上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外,大都需用耐熱鍍層進行保護。離子鍍對于沉積耐熱膜有相當多的優(yōu)點,能鍍各種高熔點材料,如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制,適合于鍍成分較復雜的耐熱合金,如鐵鉻鋁釔,鈷鉻鋁釔或鎳鉻鋁釔合金等。 目前渦輪葉片是試圖采用離子鍍耐熱鍍層的主要對象。據(jù)悉,有一種葉片用此法鍍復一種鎳鉻鋁釔合金后,其高溫工作壽命比鍍鋁提高了三倍。適于采用離子鍍耐熱鍍層的發(fā)動機零件還有渦輪盤、氣缸活塞零件等。有些零件經過這種先進工藝處理后,可在高溫下工作上千小時。鎮(zhèn)江SnO2靶材工廠如果反應氣體量增加過度,化合物覆蓋面積增加。
靶材磁控濺射的原理是什么?磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,濺射靶材在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更大,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點:本發(fā)明提供的靶材拋光裝置的技術方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側的側板;拋光片,位于所述固定板內側面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對靶材經圓角處理的側棱進行拋光,位于側板上的所述拋光片表面適于對靶材側壁表面進行拋光。所述靶材拋光裝置能夠對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱同時進行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對靶材表面進行拋光的作業(yè)效率??蛇x方案中,所述防護層為彈性材料,所述防護層的質地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導致靶材受損。正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進行下去。
靶材拋光裝置100對所述靶材600進行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動,移動方向平行與被拋光的所述側棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。此外,還可以通過所述靶材拋光裝置100同時對所述靶材600相交接的兩個側壁表面630進行拋光。具體的,所述拋光片***部分310與所述靶材600的一個側壁表面630相貼合,所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的另一個側壁表面630相貼合,所述拋光片第二部分320表面與位于兩個側壁表面630間的側棱601表面相貼合。操作人員相對所述靶材600移動所述靶材拋光裝置100,移動方向平行與被拋光的所述側棱601延伸方向,從而可同時對所述靶材600的兩個側壁表面630進行拋光,且還同時對位于兩個側壁表面630間的側棱601表面進行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。靶材磁控濺射的原理是什么?無錫SnSe靶材綁定
厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。蘇州鋁靶材定制
頂板210與所述側板220為一體成型。在其他實施例中,所述頂板與所述側板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。固定板200的材料為合金,具體的,所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實施例中,所述固定板的材料還可以為金屬。固定板200的厚度為10mm~15mm。若所述固定板200的厚度過大,使得所述固定板200的重量過大,不便于使用,影響操作的靈活性。若所述固定板200的厚度過小,導致所述固定板200的強度和韌性較差,影響所述靶材拋光裝置100的使用壽命。拋光片300表面與靶材側壁表面及經圓角處理的側棱相匹配。所述拋光片300表面具有磨砂顆粒,用于增加所述拋光片300與靶材表面間的摩擦力,以提高拋光效率。所述拋光片300為砂紙。蘇州鋁靶材定制
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。