非晶硅薄膜的制備方法 非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學氣相沉積(LPCVD),等離子體增強化學氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學氣相沉積包括低壓化學氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強化學氣相沉積(APCVD)、等離子體化學氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉(zhuǎn)化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結(jié)晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導晶化、微波誘導晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進行了系統(tǒng)地研究。一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢
中頻雙靶反應磁控濺射與直流反應磁控濺射相比具有以下幾個顯巨優(yōu)點: (1)消除了靶面打弧放電現(xiàn)象,中頻反應磁控濺射鍍制的絕緣薄膜與直流反應磁控濺射鍍制的同種膜相比,膜面缺 陷要少幾個數(shù)量級; (2)可以得到比直流反應磁控濺射高出數(shù)倍的濺射沉積速率; (3)中頻雙靶反應磁控濺射的整個濺射沉積過程,可以始終穩(wěn)定在所設定的工作點上,為大規(guī)模工業(yè)化穩(wěn)定生產(chǎn)提供了條件。 選用非對稱雙極脈沖靶電源與選用“雙靶-中頻靶電源”不同,使用單個磁控靶進行反應磁控濺射,調(diào)節(jié)相應的鍍膜工藝參數(shù),可以消除磁控靶面打弧放電現(xiàn)象和實現(xiàn)長時間穩(wěn)定的薄膜沉積,可以達到上述“中頻-雙靶反應磁控濺射”的同樣效果。揚州鋁鉻靶價錢由于所使用冷卻水的潔凈程度和設備運行過程中可能會產(chǎn)生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內(nèi)。
濺射靶材的制備
濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類,除嚴格控制材料純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外,對熱處理條件、后續(xù)加工方法等亦需加以嚴格控制。
一、粉末冶金法
粉末冶金法制備靶材時,其關鍵在于:(1)選擇高純、超細粉末作為原料;(2)選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術,以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度;(3)制備過程嚴格控制雜質(zhì)元素的引入。
二、熔融鑄造法
熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質(zhì)元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中,材料組織內(nèi)部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質(zhì)量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。
NCVM不導電膜是什么,它有哪些特點? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術或不導電電鍍技術,是一種起緣普通真空電鍍的高新技術。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運用化學、物理等特定手段進行有機轉(zhuǎn)換,使金屬轉(zhuǎn)換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質(zhì)感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現(xiàn)不導電,滿足無線通訊產(chǎn)品的正常使用;其次要保證“金屬質(zhì)感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結(jié)合,保證產(chǎn)品的物性和耐候性,滿足客戶需求。純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。
靶材安裝及注意事項有哪些?
濺射靶材安裝過程中**重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射***冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導致在濺射過程中熱量無法散發(fā)**終會造成靶材開裂或脫靶。
為確保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意一定要仔細檢查和明確所使用濺射***冷卻壁的平整度,同時確保O型密封圈始終在位置上。
由于所使用冷卻水的潔凈程度和設備運行過程中可能會產(chǎn)生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內(nèi),所以在安裝靶材時需要對陰極冷卻水槽進行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進出水口不會被堵塞。 同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。揚州鋁鉻靶價錢
通常靶材為多晶結(jié)構,晶粒大小可由微米到毫米量級。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質(zhì)。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。南通鋁摻雜錳酸鑭靶價錢
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。