南京Cd靶材調(diào)試

來源: 發(fā)布時間:2021-11-10

真空鍍膜機(jī)在塑膠行業(yè)的應(yīng)用  真空鍍膜機(jī)應(yīng)該普遍,在塑料行業(yè)的應(yīng)該也很普遍。而塑膠在生活,工業(yè),電器,航空等領(lǐng)域都有涉及。塑膠具有易成型,價格便宜,質(zhì)量輕,防腐蝕等優(yōu)點(diǎn),但塑膠的缺點(diǎn)也比較突出,其缺點(diǎn)也制約了塑膠的應(yīng)用范圍,如不美觀、易老化、機(jī)械性能差、易碎易變型、耐熱差等。通過真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用,使塑膠表面鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研發(fā)生產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)材料和塑膠產(chǎn)呂完美結(jié)合,提高了塑膠制品的物理、化學(xué)性能。 一、改善表面硬度,原塑膠表面比金屬軟而易受損害,通過真空鍍膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有導(dǎo)電性; 三、容易清洗,不吸塵; 四、改善塑膠外觀,表面光滑,金屬感強(qiáng),色澤光鮮,裝飾性提高。為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。南京Cd靶材調(diào)試

ITO薄膜制作過程中的影響因素    ITO薄膜在濺鍍過程中會產(chǎn)生不同的特性,有時候表面光潔度比較低,出現(xiàn)“麻點(diǎn)”的現(xiàn)象,有時候會出現(xiàn)高蝕間隔帶,在蝕刻時還會出現(xiàn)直線放射型缺劃或電阻偏高帶,有時候會出現(xiàn)微晶溝縫。         常用的ITO靶材是通過燒結(jié)法生產(chǎn)的,就是由氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)粉末按照一定的比例進(jìn)行混合,通常質(zhì)量比是90%In2O3和10% SnO2,形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體(氧化銦錫,ITO)。一般通過外觀就可以了解ITO靶材的質(zhì)量,深灰色是好的,相反越黑質(zhì)量越差,我國生產(chǎn)的ITO靶材質(zhì)量還可以的是黑灰色的。         研究顯示,在真空鍍膜機(jī)ITO薄膜濺鍍過程中,使用磁控濺射的方式,基底溫度控制在200℃左右可以保證薄膜85%以上高可見光透過率下,電阻率達(dá)到低,而薄膜的結(jié)晶度也隨著基底溫度的提高而提高,晶粒尺寸也逐漸增大,超過200℃后透射率趨于減弱;使用電子束蒸鍍的方式,隨著退火溫度升高,晶粒尺寸變大,表面形貌均一穩(wěn)定,超過600℃后顆粒變得大小不一,形狀各異,小顆粒團(tuán)聚現(xiàn)象嚴(yán)重,薄膜表面形貌破壞。南京Cd靶材調(diào)試對材質(zhì)的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右。

靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。與現(xiàn)有技術(shù)方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中,通過調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強(qiáng)度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。下面對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。但下述的實(shí)例 是本發(fā)明的簡易例子,并不**或限制本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范圍,本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。具體實(shí)施方式為更好地說明本發(fā)明,便于理解本發(fā)明的技術(shù)方案,本發(fā)明的典型但非限制性的實(shí)施例如下:實(shí)施例1本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為23hv

真空鍍膜設(shè)備替代電鍍設(shè)備是發(fā)展的必然     2012年全國化學(xué)電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達(dá)到3.5億噸,固體廢物達(dá)到4.1萬噸,酸性氣體達(dá)到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設(shè)備逐漸應(yīng)用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這大量的污染,大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業(yè)沒有完善治理措施,造成大量污染。         使用真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學(xué)電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進(jìn)行鍍膜,而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或?yàn)R射方式進(jìn)行鍍膜,完全沒有污染產(chǎn)生,是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產(chǎn)業(yè),已經(jīng)越來越多企業(yè)淘汰了舊方式化學(xué)電鍍而轉(zhuǎn)用真空電鍍,但還有很多企業(yè)沒意識到環(huán)保的重要性,不懂得綠色生產(chǎn)其實(shí)是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。         綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)是必然的發(fā)展趨勢,造成嚴(yán)重污染的化學(xué)電鍍終會退出歷史舞臺,取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機(jī)鍍膜成為主流是不可質(zhì)疑的。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,化合物覆蓋面積增加。

靶材拋光裝置100對所述靶材600進(jìn)行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側(cè)棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側(cè)壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動,移動方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。此外,還可以通過所述靶材拋光裝置100同時對所述靶材600相交接的兩個側(cè)壁表面630進(jìn)行拋光。具體的,所述拋光片***部分310與所述靶材600的一個側(cè)壁表面630相貼合,所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的另一個側(cè)壁表面630相貼合,所述拋光片第二部分320表面與位于兩個側(cè)壁表面630間的側(cè)棱601表面相貼合。操作人員相對所述靶材600移動所述靶材拋光裝置100,移動方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向,從而可同時對所述靶材600的兩個側(cè)壁表面630進(jìn)行拋光,且還同時對位于兩個側(cè)壁表面630間的側(cè)棱601表面進(jìn)行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。靶材安裝及注意事項(xiàng)有哪些?無錫單質(zhì)金屬靶材貼合

采用中頻電源或射頻電源。南京Cd靶材調(diào)試

作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu)。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述平面為圓形。 地,所述第二平面為環(huán)形。南京Cd靶材調(diào)試

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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