鋅錫合金,鋅鋁合金,錫鎘合金,銅銦合金,銅銦鎵合金,銅鎵合金,以及錫,鉬,鈦等旋轉靶材高純鋁靶材Al高純銅靶材Cu高純鐵靶材Fe高純鈦靶材Ti高純鎳靶材Ni高純鎂靶材Mg高純鉻靶材Cr高純鋅靶材Zn高純銀靶材Ag高純鈷靶材Co高純鈮靶材Nb高純錫靶材Sn高純銦靶材In高純鋯靶材Zr高純鉭靶材Ta高純鍺靶材Ge高純硅靶材Si高純鎢靶材W高純鉿靶材Hf高純釔靶材Y高純釓靶材Gd高純釤靶材Sm高純鏑靶材Dy高純鈰靶材Ce高純鑭靶材La高純金靶材Au高純不銹鋼靶材高純石墨靶材C高純硒靶材Se高純鉬靶材Mo高純合金濺射靶材二元合金靶鎳鉻靶Ni-Cr鎳鐵靶Ni-Fe鎳鈷靶Ni-Co鎳鋯靶Ni-Zr鎳鋁靶Ni-Al鎳銅靶Ni-Cu鎳釩靶Ni-V銅銦靶Cu-In銅鎵靶Cu-Ga銅硒靶Cu-Se鈦鋁靶Ti-Al鋁硅靶Al-Si鋁銅靶Al-Cu鋁鈦靶Al-Ti鋁鎂靶Al-Mg銀銅靶Ag-Cu鐵錳靶Fe-Mn銦錫靶In-Sn鈷鐵靶Co-Fe鎢鈦靶W-Ti鋅鋁靶Zn-Al鋁鈧靶Al-Sc銅錫靶Cu-Sn鋯鋁靶Zr-Al鋯鐵靶Zr-Fe鋯硅靶Zr-Si釩鋁靶V-Al硼鐵靶B-Fe鋁硅靶Al-Si硼鐵靶B-Fe多元合金靶鈷鐵硼靶Co-Fe-B銅銦鎵靶Cu-In-Ga銅銦鎵硒靶Cu-In-Ga-Se等。旋轉靶材用途編輯太陽能電池,建筑玻璃,汽車玻璃,半導體,平板電視等。濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。揚州GeTe靶材
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點、口水點, 膜層局部附著不良等。 改善:加強清洗,加強烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預熱加熱;增加離子輔助,減小應力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布氣;磁場;遮擋。武漢二元合金靶材廠家選擇高純、超細粉末作為原料。
為什么需在真空中鍍膜? 在常壓下蒸鍍膜料無法形成理想的薄膜,事實上,如在壓力不夠低 ( 或者說真空度不夠高 ) 的情況下同樣得不到好的結果, 比如在10 2托數(shù)量級下蒸鍍鋁,得到的膜層不但不光亮,甚至發(fā)灰、發(fā)黑,而且機械強度極差,用松鼠毛刷輕輕一刷即可將鋁層破壞。 蒸鍍必須在一定的真空條件下進行,這是因為: (1)較高的真空度可以保證汽化分子的平均自由程大于蒸發(fā)源到基底的距離。 由于氣體分子的熱運動,分子之間的碰撞也是極其頻繁的,所以盡管氣體分子運動的速度相當?shù)母?( 可達每秒幾百米 ) 。 (2)在較高的真空度下可以減少殘余氣體的污染在真空度不太高的情況下, 真空室內含有眾多的殘余氣體分子( 氧、氮、水及碳氫化合物等 ) ,它們能給薄膜的鍍制帶來極大的危害。它們與汽化的膜料分子碰撞使平均自由程變短;它們與正在成膜的表面碰撞并與之反應; 它們隱藏在已形成的薄膜中逐漸侵蝕薄膜;它們與蒸發(fā)源高溫化合減少其使用壽命;它們在已蒸發(fā)的膜料表面上形成氧化層使蒸鍍過程不能順利進行……。
什么是電致變色,它有哪些分類: 電致變色是指材料的光學屬性(反射率、透過率、吸收率等)在外加電場的作用下發(fā)生穩(wěn)定、可逆的顏色變化的現(xiàn)象,在外觀上表現(xiàn)為顏色和透明度的可逆變化。具有電致變色性能的材料稱為電致變色材料,用電致變色材料做成的器件稱為電致變色器件。 電致變色材料分類: 一、無機電致變色材料 無機電致變色材料的典型是三氧化鎢,目前,以WO3為功能材料的電致變色器件已經(jīng)產業(yè)化。 二、有機電致變色材料 有機電致變色材料主要有聚噻吩類及其衍生物、紫羅精類、四硫富瓦烯、金屬酞菁類化合物等。以紫羅精類為功能材料的電致變色材料已經(jīng)得到實際應用。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。
熔融鑄造法:
熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。為保證鑄錠中雜質元素含量盡可能低,通常其冶煉和澆注在真空或保護性氣氛下進行。但鑄造過程中,材料組織內部難免存在一定的孔隙率,這些孔隙會導致濺射過程中的微粒飛濺,從而影響濺射薄膜的質量。為此,需要后續(xù)熱加工和熱處理工藝降低其孔隙率。八.購買靶材的注意事項有哪些許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。
對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標之一,靶材的純度對后期產品薄膜的性能影響很大。但是每一個產品對靶材的純度要求也有不相同的地方。 正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進行下去。常州鑭鍶鈷氧靶材型號
在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高空間的導通能力,降低等離子體阻抗,導致濺射電壓降低。揚州GeTe靶材
靶中毒的解決辦法(1)采用中頻電源或射頻電源。(2)采用閉環(huán)控制反應氣體的通入量。(3)采用孿生靶(4)控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應曲線,使進氣流量控制在產生靶中毒的前沿,確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。磁控濺射不起輝的常見原因有哪些,怎么應對?磁控濺射金屬靶時,無法起輝的原因有很多,常見主要原因有:1.靶材安裝準確否?2.靶材表面是否干凈------------金屬靶表面氧化或有不清潔物質,打磨清理干凈后即可。3.起輝電源是否正常------------檢查靶電源。4.靶與地線之間短路----------關掉機器,把設備的濺射靶卸下來,靶附近的零件仔細清洗一下;----------壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當?shù)木嚯x,調整距離即可。5.永磁靶表面場強是否下降太多?---------如果下降太多,需要更換磁鋼。6.起輝濺射真空度與前次的差別?---------更換不同的靶材,起輝壓強不盡相同。換靶材后需要重新調功率匹配器的,只有功率匹配調好了才能正常起輝。揚州GeTe靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。