EVG?850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產系統(tǒng)可在高通量，高產量環(huán)境中運行盒到盒的自動操作（錯誤加載，SMIF或FOUP）無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的...

EVG?510鍵合機特征 獨特的壓力和溫度均勻性 兼容EVG機械和光學對準器 靈活的設計和配置，用于研究和試生產 將單芯片形成晶圓 各種工藝（共晶，焊料，TLP，直接鍵合） 可選的渦輪泵（<1E-5mbar） 可升級用于陽極鍵合 開室設計，易于轉換和維護 生產...

GEMINI ? FB自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng) 集成平臺可實現(xiàn)高精度對準和熔融 特色 技術數(shù)據(jù) 半導體器件的垂直堆疊已經成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實現(xiàn)3D堆疊設備的重要工藝步驟。EVG的GEMINI FB XT集成熔融系統(tǒng)擴展了當...

晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)的創(chuàng)新發(fā)展趨勢有哪些？1、光學和圖像技術的創(chuàng)新：晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)需要采用更先進的圖像和光學技術以提高檢測效率和準確性。例如，采用深度學習、圖像增強和超分辨率等技術來提高圖像的清晰度，準確檢測到更小的缺陷。2、機器學習和人工智能的應用：機...

電阻率測量儀的主要用途：電阻率測量儀的主要用途是測量材料的電阻率，以及對材料進行質量檢測。電阻率測量儀可以應用于許多領域，如材料研究、工業(yè)制造、地質勘探、土壤評估、醫(yī)療診斷等等。在材料研究領域中，電阻率測量儀可以用來研究不同材料的電學性質，例如導體、半導體和絕...

薄膜應力分析儀如何維護保養(yǎng)？1. 清潔保養(yǎng)：薄膜應力分析儀必須保持干燥和清潔，使用后應立即對儀器表面和內部進行清潔。2. 常規(guī)維護：薄膜應力分析儀在使用過程中需要定期檢查各個部件的密封、電源等系統(tǒng)，確保各系統(tǒng)正常運行。3. 保持干燥：在使用薄膜應力分析儀時，要...

影響薄膜應力分析儀價格的因素有哪些？1. 測量范圍和精度：較高的測量范圍和精度通常意味著更高的成本和價格。2. 測量速度：具有更高測量速度的薄膜應力分析儀通常價格更高。3. 設備穩(wěn)定性和可靠性：性能更高、品牌名度更高、售后服務更完善的薄膜應力分析儀通常價格更高...

晶圓缺陷檢測設備的安裝步驟如下：1、確定設備安裝位置：根據(jù)設備的大小和使用要求，選擇一個空間充足、通風良好、無振動、溫濕度穩(wěn)定的地方進行安裝。2、準備安裝環(huán)境：對于需要特殊環(huán)境的設備（例如光學器件），應按照設備使用要求準備環(huán)境。為避免灰塵或污染，應在安裝區(qū)域使...

薄膜應力分析儀存儲注意事項：1. 存放環(huán)境：薄膜應力分析儀應該存放在干燥、通風、不受陽光直射和震動的環(huán)境中，因為儀器本身是精密的測試設備，需要保持穩(wěn)定的環(huán)境以防止損壞或者機械性能損失。2. 電源管理：在長時間不使用薄膜應力分析儀時，應該將其拔掉電源并存儲在干燥...

電阻率測量儀的使用方法是什么？1. 首先，將要測試的材料導電端面清潔干凈，使其能夠與測試接口良好接觸。2. 打開電阻率測量儀，進行相關參數(shù)的配置，如測量范圍、測量方式等。根據(jù)需要，還可以進行數(shù)據(jù)處理和結果顯示等設置。3. 將測試接口連接至要測試的材料電導端面，...

輪廓儀產品概述：NanoX-2000/3000系列3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺...

輪廓儀的物鏡知多少？白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等）幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光...

EVG?770特征：微透鏡用于晶片級光學器件的高效率制造主下降到納米結構為SmartNIL?簡單實施不同種類的大師可變抗蝕劑分配模式分配，壓印和脫模過程中的實時圖像用于壓印和脫模的原位力控制可選的光學楔形誤差補償可選的自動盒帶間處理EVG?770技術數(shù)據(jù)：晶圓...

EVG的光刻機技術：EVG在光刻技術上的關鍵能力在于其掩模對準器的高產能，接觸和接近曝光功能以及其光刻膠處理系統(tǒng)的內部處理的相關知識。EVG的所有光刻設備平臺均支持300毫米的晶圓，可以完全集成到其HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中，并配有用于從上到下的側面對準驗...

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)的旋轉涂層模塊-旋轉器參數(shù)轉速：蕞高10krpm加速速度：蕞高10krpm噴涂模塊-噴涂產生超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴；開發(fā)模塊-分配選項水坑顯影/噴霧顯影EVG101光刻膠處理系統(tǒng)；附加模塊選項：預對準：機械系統(tǒng)控制參數(shù)：操作系統(tǒng)：...

HERCULES光刻軌道系統(tǒng)特征：生產平臺以蕞小的占地面積結合了EVG精密對準和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)勢；多功能平臺支持各種形狀，尺寸，高度變形的模具晶片甚至托盤的全自動處理；高達52,000cP的涂層可制造高度高達300微米的超厚光刻膠特征；CoverSpi...

我們可以根據(jù)您的需求提供進行優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。我們的掩模對準系統(tǒng)設計用于從掩模對準到鍵合對準的快速簡便轉換。此外，可以使用用于壓印光刻的可選工具集，例如UV-納米壓印光刻，熱壓印或微接觸印刷。所有系統(tǒng)均支持原位對準驗證軟件，以提高手動操作系統(tǒng)的對準精度和可重復...

FSM413SPANDFSM413C2C紅外干涉測量設備適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…………應用:襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)平整度厚度變化(TTV)溝槽深度過孔尺寸、深度、側...

樣品視頻包括硬件和照相機的F20系統(tǒng)視頻。視頻實時顯示精確測量點。 不包括SS-3平臺。SampleCam-sXsX探頭攝像機包含改裝的sX探頭光學配件，但不包含平臺。StageBase-XY8-Manual-40mm8“×8” 樣品平臺，具有SS-3鏡頭與3...

光刻膠處理系統(tǒng)：EVG100系列光刻膠處理系統(tǒng)為光刻膠涂層和顯影建立了質量和靈活性方面的新標準。EVG100系列的設計旨在提供蕞廣范的工藝變革，其模塊化功能可提供旋涂和噴涂，顯影，烘烤和冷卻模塊，以滿足個性化生產需求。這些系統(tǒng)可處理各種材料，例如正性和負性光刻...

薄膜應力分析儀如何處理測試結果？1. 計算膜層應力：膜層應力是關鍵的參數(shù)之一，通常使用彈性理論方法進行計算。通過薄膜物理參數(shù)如厚度、楊氏模量和泊松比等，可以計算出薄膜的應力狀態(tài)。2. 分析膜層應變：膜層應變表示了膜層聚集的應力狀態(tài)。樣品經過變形后，產生的微小形...

薄膜應力分析儀的重要性是如何體現(xiàn)的？薄膜應力分析儀的重要性主要體現(xiàn)在三個方面：1. 質量控制：薄膜應力分析儀可以測量出薄膜層的應力情況、厚度、粗糙度等性質，從而可以對薄膜生產過程進行實時監(jiān)控和質量控制，提高產品質量和生產效率。2. 研究開發(fā)：薄膜應力分析儀可以...

地板上沒有AVI產品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標為頻率，縱坐標為加速度）加上AVI產品開啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標為頻率，縱坐標為加速度）HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應器LFS-3性能LFS-3感應器測試水平和垂...

AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-XL的...

TS-150TS-150結合了久經考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計TS150的隔離頻率始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS150的出色性能...

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,...

TS-300結合了久經考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計TS-300的隔離始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平...

1.更換SEM側面板（如有必要）。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉前面板上的“ON”開關。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后，使能LED指示燈將變穩(wěn)定，指示系統(tǒng)已正確隔...

隔振臺TS-140+40的技術指標：頻率負載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離：動態(tài)（超過1kHz）傳遞率：參見附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12μm/...

1、使用2mm內六角扳手（包括在內）拆下模塊端板。2、根據(jù)掃描電鏡的重量調整模塊。在每個中心柱上的橫梁上方和下方應該有一個間隙，允許每側大約有2mm的行程。B、使用M6活動扳手（包括）轉動位于支撐彈簧頂部的調整螺母。向右轉動扳手可降低模塊并增加上部間隙（在中間...