EVG?610曝光源:汞光源/紫外線LED光源;楔形補償全自動軟件控制;晶圓直徑(基板尺寸)高達100/150/200毫米;曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式;曝光選項:間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光;先進的對準功能:手動對準/原位對準驗證手動交叉校正...
EVG?620BA自動鍵合對準系統(tǒng):用于晶圓間對準的自動鍵合對準系統(tǒng),用于研究和試生產(chǎn)。EVG620鍵合對準系統(tǒng)以其高度的自動化和可靠性而聞名,專為ZUI大150mm晶圓尺寸的晶圓間對準而設計。EVGroup的鍵合對準系統(tǒng)具有ZUI高的精度,靈活性和易用性,以...
EVG?101--先進的光刻膠處理系統(tǒng)主要應用:研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單腔設計中執(zhí)行研發(fā)類型的工藝,與EVG的自動化系統(tǒng)完全兼容。EVG101光刻膠處理機支持蕞大300mm的晶圓,并可配置用于旋涂或噴涂以及顯影應用。通...
F3-CS:快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易,軟件內建所有常見的電介質和半導體層(包括C,N和HT型聚對二甲苯)的光學常數(shù)(n和k),厚度結果會及時的以直覺的測量結果顯示對于進階使用者,可以進一步以F...
生物醫(yī)療設備涂層應用生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組織損傷、敢染或者是排異反應。藥物傳輸涂層也變得日益普通。其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,具有讀立的隔膜,必須具...
不管您參與對顯示器的基礎研究還是制造,Thetametrisis都能夠提供您所需要的...測量液晶層-聚酰亞胺、硬涂層、液晶、間隙測量有機發(fā)光二極管層-發(fā)光、電注入、緩沖墊、封裝對于空白樣品,我們建議使用FR-Scanner系列儀器。對于圖案片,Thetame...
厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助。單點厚度測量:一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。測量1nm到13mm的單層薄膜或多層...
F10-AR無須處理涂層背面我們探頭設計能抑制1.5mm厚基板98%的背面反射,使用更厚的鏡頭抑制的更多。就像我們所有的臺式儀器一樣,F(xiàn)10-AR需要連接到您裝有Windows計算機的USB端口上并在數(shù)分鐘內即可完成設定。包含的內容:集成光譜儀/光源裝置FIL...
HERCULES?NIL特征:全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)ZUI小40nm或更小的結構支持各種結構尺寸和形狀,包括3D適...
生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組織損傷、敢染或者是排異反應。藥物傳輸涂層也變得日益普通。其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,具有獨力的隔膜,必須具有均勻和固定的厚度才...
SmartNIL技術簡介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現(xiàn)無人能比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時...
IQAlignerUV-NIL特征:用于光學元件的微成型應用用于全場納米壓印應用三個獨力控制的Z軸,可在印模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償三個獨力控制的Z軸,用于壓印抗蝕劑的總厚度變化(TTV)控制利用柔軟的印章進行柔軟的UV-NIL工藝EVG專有的全自動浮雕功...
F54包含的內容:集成光譜儀/光源裝置MA-Cmount安裝轉接器顯微鏡轉接器光纖連接線BK7參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000厚度標準聚焦/厚度標準4",6"and200mm參考晶圓真空泵備用燈型號厚度范圍*波長范圍F54:20nm-40μm...
EVG?520HE熱壓印系統(tǒng)特色:經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動熱壓印系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑ZUI大為200mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統(tǒng)...
厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助。單點厚度測量:一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。測量1nm到13mm的單層薄膜或多層...
SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新。例如,SmartNIL提供了無人能比的全區(qū)域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的ZUI重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,...
曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸...
EVG?620NT是智能NIL?UV納米壓印光刻系統(tǒng)。用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)?技術,在100毫米范圍內。EVG620NT以其靈活性和可靠性而聞名,它以蕞小的占位面積提供了蕞新的掩模對準技術。操作員友好型軟件,蕞...
EVG增強對準:全電動頂部和底部分離場顯微鏡支持實時,大間隙,晶圓平面或紅外對準,在可編程位置自動定位。確保蕞好圖形對比度,并對明場和暗場照明進行程序控制。先進的模式識別算法,自動原點功能,合成對準鍵模式導入和培訓可確保高度可重復的對準結果。曝光光學:提供不同...
曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸...
UV納米壓印光刻系統(tǒng)EVG?610/EVG?620NT/EVG?6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)■高精度對準臺■自動楔形誤差補償機制■電動和程序控制的曝光間隙■支持蕞新的UV-LED技術■蕞小化系統(tǒng)占地面積和設施要求EVG?720/EVG...
技術介紹:紅外干涉測量技術,非接觸式測量。采用Michaelson干涉方法,紅外波段的激光能更好的穿透被測物體,準確的得到測試結果。產(chǎn)品簡介:FSM413EC紅外干涉測量設備適用于所有可讓紅外線通過的材料:硅、藍寶石、砷化鎵、磷化銦、碳化硅、玻璃、石英、聚合物...
EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術創(chuàng)新孵化器,同時也是全球為一可及的300-mm光刻/納米...
EVG?6200NT是SmartNILUV納米壓印光刻系統(tǒng)。用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)?技術范圍達150m。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以蕞小的占地面積提供了蕞新的掩模對準技術。操作員友好型軟件,蕞短的掩...
世界lingxian的衍射波導設計商和制造商WaveOptics宣布與EVGroup(EVG)進行合作,EVGroup是晶圓鍵合和納米壓印光刻設備的lingxian供應商,以帶來高性能增強現(xiàn)實(AR)波導以當今業(yè)界的低成本進入大眾市場。波導是可穿戴AR的關鍵光...
生物醫(yī)療設備涂層應用生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組織損傷、敢染或者是排異反應。藥物傳輸涂層也變得日益普通。其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,具有讀立的隔膜,必須具...
納米壓印光刻(NIL)技術EVG是納米壓印光刻(NIL)設備和集成工藝的市場lingxian供應商。EVG從19年前的研究方法中率先掌握了NIL,并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導體晶圓到300mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn)。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率...
HERCULES?NIL特征:全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)ZUI小40nm或更小的結構支持各種結構尺寸和形狀,包括3D適...
HERCULESNIL300mm提供了市場上蕞先近的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產(chǎn),包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR/VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫(yī)學設備,納米光子學和等離...
生物醫(yī)療設備涂層應用生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,而其他的則是為了預防組織損傷、敢染或者是排異反應。藥物傳輸涂層也變得日益普通。其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,具有讀立的隔膜,必須具...